Moduteck
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Moduteck品牌快照信息

Moduteck官网:
modutek.com
原产地:
美国
品牌全称:
Modutek Corporation
Moduteck产品:
高级湿处理设备、湿基和化学站、硅蚀刻组件
应用领域:
硅晶片清洗设备和支持、改进晶片加工时间、晶片再生设备

Moduteck公司简介

Moduteck, 最初成立于1980年,Modutek公司开始为快速增长的半导体行业制造湿法工艺设备组件。 我们的专业包括高温石英加热浴,亚周围过滤系统,氮化物蚀刻浴和冲洗系统。 我们的原始市场既向最终用户销售,也支持OEM的湿式加工站。 在90年代初期,与半导体行业相关的环境问题成为关注。为了帮助支持这个不断增长的市场,Modutek收购了香农工程公司,并更名为污染控制实验室(PCL)。这个新的环保团体作为Modutek子公司生产空气洗涤器,酸中和系统和化学品输送系统。到90年代后期,Modutek删除了子公司。从那一点;这些环境系统是以Modutek名称制造的。 随着湿法工艺设备的新技术进步,Modutek于2002年收购了Sysmax公司,这为我们提供了自动化灵活性,真空蚀刻系统(VES)和自旋过程系统(SPS)。这两个系统都是业界与众不同的,因为VES在真空下蚀刻铝,SPS旋转两个晶片载体,并以非常小的占用面积在蚀刻和冲洗之间转移它们。 Sysmax也作为Modutek子公司运行两年,但所有设备现在都带有Modutek公司名称。


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